CMPNシリーズ研磨液深層濾過フィルター
CMPN Filter Cartridge Series

CMPNシリーズカートリッジ は、独特のロールデザインを採用し、CMPのスラリーを精密濾過することができる。大粒子を高能率にブロックし、有効な粒子を通過させる。外から奥にかける段階構造は、汚染物の収納スペースを増加させ、カートリッジ の使用寿命を延長させる。


Feature and Benefits

Low Extraction Level

An all polypropylene construction and thermal bonding technology eliminates the use of adhesives and enables the lowest extraction level

Efficient Filtration

The unique rolled structure provides accurate separation of CMP slurry, captures large particles and releases usable particles.

电子 en 1012.bmp

No Fiber Releasing
The special external mesh eliminates fibers released from the filter.

Graded Pore Structure

Graded pore size structure eliminates the condensate slurry from blocking the membrane surface increasing the usability of porous area.


  • 仕様
  • 流量特質
  • 発注情報

Operating Conditions

Filter MediaPP
End cap /Core/CagePP
Max. Operating Temperature80°C
Max. Differential Pressure0.4 MPa / 21°C
0.24 MPa / 80°C


Drawing


OrderingInformation

CMPN.jpg

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