フォトリソグラフィプロセス

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フォトリソグラフィプロセスはミクロパターン移転プロセスであり、半導体加工のライン幅が狭くなるにつれ、フォトリソグラフィプロセスは極小汚染物の制御に極めて厳しい。粒子と濾過製品のメタルイオンの析出を厳密に制御するため、カートリッジ の生産製造に特別な要求を出した。Cobetterフィルターは、半導体分野のお客様に半導体レベルのPFAフィルターを提供し、極めて低いメタル析出と溶出をもって製品の清潔さを確保した。


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