工場管理システム濾過

半導体の製造中において、工場管理システムは、FABに生産製造用のクリーンなプロセスガス、超純水、超浄電子化学品を提供する。大量かつ長時間の供給は、フィルターの安定性が高く求められる。Cobetterは工場管理システム濾過に専用の濾過製品を提供する。Cobetterの大流量の製品とパーフロ耐腐食製品、高精度高効率の濾過製品は工場管理システムの安全供給をサポートしている。

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